AURIGA FIB-SEM聚焦离子束扫描电子显微镜
发布时间: 2010-03-05 14:06
AURIGA FIB-SEM 系统将 GEMINI 电子束（e-Beam）镜筒的三维成像和分析性能与用于纳米级材料加工和样品制备的聚焦离子束结合在一起。其包含具有不同样品室的 AURIGA 40 和 AURIGA 60 两种型号可供选择，为工业质量控制和材料科学领域的应用提供极大的灵活性。
您对样品的研究是否已不限于其表面成像？您是否希望了解样品的化学组份或形貌信息？您是否非常想了解更深层次的三维结构特征？或者计划对样品进行调整或加工？
AURIGA FIB-SEM 系统将 GEMINI 电子束（e-Beam）镜筒的三维成像和分析性能与用于纳米级材料加工和样品制备的聚焦离子束结合在一起。其包含具有不同样品室的 AURIGA 40 和 AURIGA 60 两种型号可供选择，为工业质量控制和材料科学领域的应用提供极大的灵活性。
独特的成像能力
在有局部电荷中和器的情况下，可以使用所有标准探测器进行非导电样品成像
包含 EsB 技术的独特探测器设计，能够同时检测形貌和组份信息
使用 GEMINI 镜筒研究磁性样品
先进的分析能力
使用局部中和器进行非导电样品分析
拥有 15 或 23 个附属端口的多功能样品室
样品室的优化几何设计，可同时安装 EDS、EBSD、STEM、WDS 和 SIMS 等设备
精准的处理能力
创新的 FIB 技术，具有最高级别的分辨率（< 2.5 nm）
在 FE-SEM 下以高分辨率实时监控整个样品的制备过程
先进的气体处理技术，用于离子束与电子束的辅助刻蚀和沉积
未来的可扩展性
可提供具有不同样品室的 AURIGA 40 和 AURIGA 60 两种型号
基于 GEMINI FE-SEM 技术的可扩展平台理念
模块化设计结构可用于功能扩展
高分辨率信息
AURIGA FIB-SEM 工作站的显微机械加工和结构化处理能力使其应用范畴不仅只限于标准样品制备。
其对聚焦离子束灵活精准的控制（可与工艺气体配合使用），在科学和工业研发领域的应用中也起着重要的作用。对于高效率的应用，可靠性与易用性是决定离子束控制加工品质的主要因素。
纳米图形引擎软件可以通过高度灵活且直观的用户界面来满足这类应用需求，从而实现最复杂的 16 位高精度结构处理。
扩展 AURIGA FIB-SEM 系统应用范围：ATLAS 3D 是专为 FIB 纳米表面形貌设计的一款软、硬件包。它能够以高达 32 k x 32 k 像素分辨率创建三维数据图像。在三维模式下以纳米级分辨率对成千上万的立方微米结构进行分析。
智能软件算法减少了数据量和采集时间。其具有漂移校正、自动消像散、自动对焦和用于快速获取可靠结果的自调动态三维追踪功能。
