能以高倍率、高对比度进行深紫外线（DUV）观察的型号采用了适合深紫外线248 nm的光学系统，实现了分辨率高达0.08 μm的高对比度成像。可以根据样品的大小分别选择MX61L/MX61/MX51。

    高分辨率： 色差校正的光学系统，能观察到明亮的、高对比度的深紫外线影像  采用了适合深紫外线248 nm的光学系统，实现了可见光线2倍以上的分辨率。即使是深紫外线领域，也能进行248±4 nm的宽范围波长色差校正。能有效利用照明光源，获得鲜明的深紫外线观察影像，适用于观察低反射率的铜接线等标本。也可以在检查更微细的半导体图纹面和磁头滑动面的缝隙时，检查电极时，以及在缩微平版印刷技术中使用这个显微镜系统。

      不使用粘合的全新DUV物镜：DUV物镜采用了本公司独有的“无粘合透镜”设计制造技术。新开发的DUV物镜不使用粘合材料，高精度地组装了18组18片的透镜。即使是长时间的深紫外线照射，DUV物镜也能维持优异的性能。

        分离深紫外线灯箱，提高系统设计自由度把作为热源的灯箱从深紫外线镜筒分离，使之成为独立的光源单元。使用UV光引导把照明光线从光源单元导向镜筒，这样一来，在设置显微镜时其布局就容易了许多。此外，光源单元前面的操作旋钮，可以无级调光，能调节出适合样品的最佳亮度。石英纤维的使用实现了均一的DUV光照明。

       电脑控制数码照相机：高精度UV数码照相机采用了能高速读取数据的IEEE1394格式。使用影像分析软件analySIS FIVE（选件），可以用电脑控制照相机。还可以在电脑上对读取的影像数据进行图像处理、计算测量和分析，甚至创建数据库和报告。

      高经济性： 小型紧凑、低成本DUV镜筒构造简单，没有操作部分。照明部分可以拆卸，与传统的专用设备相比，重量减少了约1/2，实现了小型、轻便化。此外，成本也约压缩为原来的一半。

         采用超长寿命的水银氙灯在深紫外线照明上采用了照明时间平均为1000小时的超长寿命水银氙灯。减少了照明灯的更换，降低了运行成本。