自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12
发布时间: 2010-03-28 10:32
产品编号：
42313591416
产品名称：
自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12
规 格：
AL120-12
产品备注：
产地：日本
 产 品 说 明
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提高300 mm晶圆原料利用率和生产率的手动搬运装置推出了对应FOUP开口（装载口）和FOSB规格2种产品型号。实现了不受晶圆条件（簿晶圆、变形晶圆）影响的搬运系统，为后道工程的品质保证提供了极高的可靠性和安全性。
卓越的光学性能、系统性能、操作性能
操作简便配有可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性能。格外重视了设备的操作简便性。推出了对应FOUP开口（装载口）和FOSB规格的2种产品型号。
继承了高度的可靠性和操作性
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继承了上一代型号的可靠性和安全性，能够安全的自动检查300 mm晶圆。
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实现了不受晶圆条件（簿晶圆，变形晶圆）影响的搬运系统。
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宏观观察位置的最佳化和操作部的集中配置，提高了设备的可视性和操作性。
专用宏观照明装置
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可以选择最佳的照明方法检查异物、伤痕、膜斑、散焦等。
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高亮度金属卤化物光源与光纤照明的组合，实现了300 mm晶圆的冷光源全面照射
自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 规格
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AL120-LMB12-LP
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AL120-LMB12-F
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晶圆尺寸
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300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可选：200 mm
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卡盒
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●FOUP（Front Opening Unified Pods）前开门标准夹●SEMI：E47.1-0200规格产品●FIMS-FOSB, FOSB
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●FOSB（Front Opening Shipping Box）前开门搬运盒●SEMI：M31-0999规格产品
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卡盒数
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单盒（装载、卸载兼用）
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卡盒设置高度
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900 mm
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装载端口
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有
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无
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搬运顺序
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表面宏、内面宏、显微镜检查
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检查模式
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全部检查、抽样检查
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晶圆校准
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非接触式中心环
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晶圆搬运方式
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真空吸附机械搬运
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适用显微镜
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半导体检查显微镜MX61L
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应用环境
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AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz
真空-67～-80 Kpa
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载物台
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XY手动吸附载物台，有XY粗调／微调和360度旋转机构
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重量（不包括显微镜）
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约360 kg
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约270 kg
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