晶圆搬送机 AL120
发布时间: 2010-03-28 10:30
产品编号：
4231455516
产品名称：
晶圆搬送机 AL120
规 格：
AL120
产品备注：
产地：日本
 产 品 说 明
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对应直径200 mm及以下的晶圆，为提高产能和优化良率做出贡献的晶圆搬送机.可以对应直径200 mm及以下的晶圆。新型搬送手臂的采用，实现了对90 μm极薄晶圆的搬送，能满足多种尺寸晶圆搬送的需求。
大范围适用和高度的可靠性
可以根据晶圆尺寸、检查内容选择最适用的一款我们推出了200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（对应小于150 mm的晶圆）的3种型号。除此以外，您还可以根据检查内容，选用微观检查专用型号“L型”或微观•宏观检查兼用型号“LMB型”。
进一步优化的宏观检查
在背面宏观检查上，使用最大360°的倾斜角能够比较容易的发现伤痕和微尘。利用360°旋转功能，完全可以目视检查整个晶圆（包括边缘）。此外，在表面宏观检查中，使用操纵杆可随意将晶圆最大倾斜30°进行观察。
对应了SEMI S2/S8和RoHS的高度可靠性
为了能够安全的安装晶圆，采用了在装置正面设置片盒的设计。在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测，同时，在环境保护方面遵守了RoHS指令。
晶圆搬送机 AL120 规格
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200 mm专用型
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200 mm/150 mm 兼用型
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150 mm型
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AL120-
LMB8-90
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AL120-
LMB86-180
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AL120-
L86-180
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AL120-
LMB86
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AL120-
L86
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AL120-
LMB6-150
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AL120-
L6-150
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晶圆尺寸（SEMI规格）
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200mm
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200mm / 150mm
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150mm / 125mm / 100mm
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晶圆最小厚度
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90µm
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180µm
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400µm
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150µm
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片盒类型*
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SEMI规格：25（26）个slot
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片盒数
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1
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检查模式
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全部检查／抽样检查
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搬运顺序
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微观检查（显微镜检查）
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○
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○
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○
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○
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○
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○
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○
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表面宏观检查
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○
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○
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○
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○
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背面宏观检查
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○
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○
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○
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○
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二次背面宏观检查
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○
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○
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○
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○
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晶圆定位（每 90º）
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非接触（定位平边／V型槽）
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非接触（定位平边）
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适配显微镜型号
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奥林巴斯半导体检查显微镜 MX61
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尺寸（mm）
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主机部分：640 (W) × 620 (D) × 378 (H)，配备显微镜时：1100 (W) × 620 (D) × 378 (H)
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主机部分：570 (W) × 620 (D) × 400 (H)，配备显微镜时：980 (W) × 620 (D) × 400 (H)
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重量（kg）（仅主机部分）
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44
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44
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41
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44
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41
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40
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37
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使用环境（电源／真空）
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AC100 V～120 V、1 A或AC220 V～240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67～-80 kPa、20 Liter/min以上
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* 最多可登记10种片盒。
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