借助 FIB-SEM 技术探索三维纳米世界

AURIGA Compact 聚焦离子束扫描电镜让您进入三维纳米断层成像世界。它将高分辨率成像与聚焦离子束的刻蚀性能结合在一起。您能够获得各类样品的最大的材料对比度以及形貌对比度，甚至可以在 1 kV的加速电压下达到 2.5 nm 的高分辨率。将 in-lens SE 和 BSE 探测器与局部电荷中和器组合，拓展在纳米成像、三维分析、样品制备及纳米加工领域的应用范围。

• 低加速电压 – 高分辨率
  制备非导电和电子束敏感型样品：使用低加速电压可减少充电与收缩效应。轻松获得出色的高分辨率样品横截面信息。
• in-lens SE 探测器 与 BSE 探测器相结合
  发挥 AURIGA Compact 的最大分析性能：除高分辨率成像外，这两种探测器的组合还能提供清晰的成份和形貌对比度。
• 局部电荷中和器
  消除绝缘材料的充电效应：将气体注入感兴趣的区域内去除带电粒子。