3D测量激光共焦显微镜 LEXT OLS4000
发布时间: 2010-03-28 10:38
产品编号:
4238304516
产品名称:
3D测量激光共焦显微镜 LEXT OLS4000
规 格:
LEXT OLS4000
产品备注:
奥林巴斯
产 品 说 明
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配置新开发的双共焦系统,可以测量那些原本难以测量的样品。此外,还充实了粗糙度测量功能,灵活运用非接触式测量的优点,其
精益求精的测量性能
轻松检测尖锐角
采用了有着高N.A. 的专用物镜,和能最大限度发挥405 nm 激光性能的专用光学系统,LEXT OLS4000可以精确的测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。
有尖锐角的样品(剃刀)
LEXT 专用物镜
克服反射率的差异
LEXT OLS4000 采用了新开发的双共焦系统。由于配置了2 个共焦光学系统,那些一直以来使用激光显微镜难以测量的、含有不同反射率材料的样品,也能在LEXT OLS4000上获得鲜明的影像。
反射率有差异的样品(钻石电镀工具)
双共焦系统
稳定测量环境
为了排除来自外部的影响,稳定测量,LEXT OLS4000 机座内置了由螺旋弹簧和阻尼橡皮组成的“混合减震机构”。所以,可以把LEXT OLS4000 放在普通的桌子进行测量作业,不需要专用的防震平台。
混合减震机构
混合减震机构减轻
振动带来的影响
受到来自外部的
振动的影响
世界首台有2个性能保证的激光显微镜
表示测量仪器的测量精度的,有2个指标。一个是测量值与真正值的接近程度(正确性),另一个则是多次测量值的偏差程度(重复性)。LEXT OLS4000是世界首台保证了“正确性”和“重复性”的激光显微镜。
2个性能保证
OLS4000从镜头制造到成品全部在奥林巴斯工厂完成,并按照一系列标准严格检查后出厂。交付产品时的校正和最后的调整,由选拔出来的技术人员在实际使用环境中执行。
更加真实的再现微小凹凸
微分干涉观察是超越了激光显微镜的分辨率、可以观察到纳米以下微小凹凸的观察方法。LEXT OLS4000 通过安装在物镜上方的DIC 分光棱镜,将照明光横向分为两束光线来照射样品。获取由样品直接反射回来的两束光线的差,生成明暗对比,从而实现对微小凹凸的立体观察。LEXT OLS4000 采用了微分干涉观察,即使是低倍率的动态观察,也能得到接近电子显微镜分辨率的影像。
有DIC(高分子薄膜)
无DIC(高分子薄膜)
对应大范围观察
在高倍率影像观察中,视场范围会变窄。LEXT OLS4000 搭载了缝合功能,最多可拼接500 幅影像,从而能得到高分辨率和大视场范围的影像数据。不仅如此,LEXT OLS4000 还能对该大视场影像进行3D 显示和3D 计测。
拼接的亮度影像
拼接的3D 影像
输出结果有着与接触式表面粗糙度测量仪相同的操作性和互换性。3D测量激光共焦显微镜 LEXT OLS4000 规格
光学系统
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UIS2光学系统(无限远校正)
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总倍率
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108x~17280x
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观察视场
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2560x2560~16x16 µm
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机身
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观察方法
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明视场/微分干涉/激光/激光微分干涉
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激光
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405 nm 半导体激光
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白色照明
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白色LED照明
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对焦单元
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粗调Z轴载物台
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划动
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100 mm
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最大样本高度
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100 mm
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细调Z轴物镜转换器
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测量划动
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10 mm
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驱动分辨率
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0.01 µm
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重复性
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σn-1=0.012 µm
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物镜
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5x, 10x, 20x, 50x, 100x
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光学变焦
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1x~8x
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载物台
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电动载物台
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100x100 mm
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外形尺寸
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276(W)x358(D)x405(H) mm
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重量
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32 kg(只包括机身
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