湖北激光共焦显微镜

027-84210039 84210031

咨询热线

首页 >> 蔡司ZEISS光学显微系统 >> 激光共聚焦显微镜 >> OLS4100激光共焦显微镜

OLS4100激光共焦显微镜

发布时间: 2015-03-05 16:14

LEXT OLS4100是一款激光扫描显微镜，通过非接触的方式进行样品表面三维形貌观察和测量。最高分辨率达10nm，可以方便快捷地获取影像，同时配备丰富的测量功能。

商品信息

卓越的测量

更大的样品范围

轻松检测85° 尖锐角

有尖锐角的样品（剃刀）

采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统（能最大限度发挥405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。

LEXT 专用物镜

使用专用物镜时的最小象差

高度分辨率10 nm，轻松测量微小轮廓

(MPLAPON50XLEXT)
高度差标准类型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm 高度测量中的检测

由于采用405 nm 的短波长激光和更高数值孔径的物镜，OLS4100 达到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的0.8 nm 的光栅读取能力和软件算法，例如奥林巴斯开创的I-Z 曲线（请参阅第23 页），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。

克服反射率的差异

钻石电镀工具
物镜：MPLAPON50XLEXT

OLS4100 采用了双共焦系统，结合高灵敏度的探测器，那些具有不同反射率材料的样品，也能在OLS4100 上获得鲜明的影像。

适用于透明层

多层模式
LEXT OLS4100 全新的多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域，并将各层设为焦点，这样即可实现对透明样品上表面的观察和测量，而且也可以对多层样品的各层进行分析和厚度测量。
Multi-Layer Mode

观察／测量透明材料的各个层
多层模式可实现对透明样品的顶部的透明层进行观察和测量。即使在玻璃基片上覆有一层透明树脂层，也可测量出各层的形状和粗糙度以及表面覆膜的厚度。
Observation/Measurement of Multiple Layers of Transparent Material

工业领域首创* 的两项性能保证

正确性和重复性

通常表示测量仪器的测量精度的，有2 个指标："正确性"，即测量值与真正值的接近程度，和"重复性"，即多次测量值的偏差程度。OLS4100 是业界首次同时保证了"正确性"和"重复性"的激光扫描显微镜。

追溯体系

OLS4100 从物镜制造到成品全部在奥林巴斯工厂内完成，并按照一系列严格的标准进行全面的检验并确保产品的质量后方才出厂。交付产品时，由选拔出来的技术人员，在实际使用环境中执行校正和最后的调整。

OLYMPUS Stream (选购件)

工作流程解决方案，实现了优秀的图像分析性能
对于粒子尺寸分析或非金属夹杂物级别的测量，可以使用OLYMPUS Stream 显微图像软件，该软件可以从OLS4100 直接上传。

想了解更多OLYMPUS Stream相关内容 >

更精准的粗糙度测量

LEXT OLS4100 参数

作为表面粗糙度测量的新标准，奥林巴斯开发了LEXT OLS4100。对LEXT OLS4100 进行了与接触式表面粗糙度测量仪同样的校正，并在LEXT OLS4100 上配置了几乎所有必要的粗糙度参数和滤镜。这样，对于使用接触式表面粗糙度测量仪的用户来说，能得到操作性和互换性良好的输出结果。另外，还搭载了粗糙度专用模式，可以用自动拼接功能测量样品表面直线距离最长为100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有与接触式表面粗糙度测量仪相同的表面轮廓参数，因此具有相互兼容的操作性和测量结果。

截面曲线

Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr

粗糙度曲线

Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75

波动曲线

Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr

负荷曲线

Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2

基本图形

R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte

粗糙度 (JIS1994)

Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp

其他

R3z, P3z, PeakCount

适应下一代参数
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度（3D）参数。通过评估平面区域，可以进行高可靠性的分析。

振幅参数

Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa

功能参数

Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp

体积参数

Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc

横向参数

Sal, Str

• LEXT OLS4100 与表面粗糙度测量仪的结果相兼容。
surface roughness gauge

微细粗糙度

使用接触式表面粗糙度测量仪，无法测量比探针的针尖直径更细微的表面轮廓。而OLS4100 有着微小的激光光斑直径，所以能够对微细形状进行高分辨率的粗糙度测量。
Micro Roughness1
Micro Roughness2

非接触式测量

使用接触式表面粗糙度测量仪测量柔软的样品时，样品容易受到探针损伤而变形。另外，带有粘性的样品会粘在探针上，无法得到正确的测量结果。而非接触式的激光显微镜OLS4100，不会影响样品的表面状态，可以准确的测量样品
的表面粗糙度。

高分子薄膜3D 影像（上）和粗糙度测量结果（左）

Soft Specimen
柔软的样品
Adhesive Specimen
带有粘性的样品

微米级特征的测量

使用接触式表面粗糙度测量仪，其探针无法进入微米级的区域，所以不能对这些区域的特征进行测量。而OLS4100 可以正确定位，能轻松测量出特定微小区域的粗糙度。

焊线

Measurement of Features at the Micron Level

高画质影像

清晰鲜明的3D 彩色影像

三种类型的综合影像

真彩3D 影像

LEXT OLS4100 可以同时获取三种不同类型的影像信息：真彩3D 影像、激光全焦点3D 影像和高度信息影像。

激光全焦点3D 影像

高度信息影像

再现自然色

OLS4100 采用了白色的LED 光源和高色彩保真度的CCD 照相装置以生成清晰、色彩自然的影像，所得影像可以与高级的光学显微镜相媲美。

2D Color Image (Inkjet Dots on Paper, Objective Lens 20x)

2D 彩色影像（纸张上的墨点、物镜20x）

3D Color Image (Inkjet Dots on Paper, Objective Lens 20x)

3D 彩色影像（纸张上的墨点、物镜20x）

更加真实地再现表面, 激光DIC（激光微分干涉）

微分干涉观察是超越了激光显微镜的分辨率、可以观察到纳米以下微小表面轮廓的观察方法。LEXT OLS4100 通过安装在物镜上方的DIC 分光棱镜，将照明光横向分为两束光线来照射样品。获取由样品直接反射回来的两束光线的差，生成明暗对比，从而实现对微小凹凸的立体观察。LEXTOLS4100 拥有DIC 激光模式，即使是低倍率的动态观察，也能得到接近电子显微镜分辨率的影像。