测量范围

X方向

100mm

100mm

120mm

150mm

Z1（传感器）

25mm

40mm

50mm

60mm

高度

400mm

400mm

400mm

400mm

测量精度

X指示精度

（L=X轴移动导轨距离）

±(0.8+0.002L)μm

±(0.6+0.002L)μm

±(0.7+0.002L)μm

Z1指示精度

（H=Z轴方向测量高度）

±(0.5+0.005H)μm

±(0.3+0.005H)μm

±(0.4+0.005H)μm

粗糙度

示值误差

±5%

示值稳定性

≤±7%

测量重复性

±3%

X轴

类型

光栅尺

光栅尺

光栅尺

光栅尺

分辨率

0.02μm

0.01μm

0.01μm

0.01μm

产地

进口

进口

进口

进口

直线度

0.6um/100mm

0.4um/100mm

0.5um/100mm

0.5um/100mm

Z1轴

（传感器）

类型

光栅传感器

分辨率

0.02μm

0.01μm

0.01μm

0.01μm

产地

进口

评定长度

λc×3、4、5、6、7

测量速度

轮廓仪

0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定义）

粗糙度

0.1mm/s、0.32mm/s、0.5mm/s

测针

轮廓仪粗糙度仪一体

针尖R5μm  60度

气源流量/压缩空气

纯净压缩空气：气压0.4MP，消耗0.1m3 /min （气源供给0.6MP，0.25m3 /min以上）

电源

220-240V  AC, 50HZ，单独地线；最大功率消耗450W

环境要求

工作温度：10°-30°（常温）；湿度20-80%RH（无结露），良好地线，无明显振源