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德国马尔MarSurf WM 100 高精度光学测量仪
    发布时间: 2017-07-14 12:12    

德国马尔MarSurf WM 100 高精度光学测量仪

高精度光学测量仪 MarSurf WM 100 有亚纳米级分辨率和测量精度。3D 白光干涉仪测量系统。


德国马尔MarSurf WM 100 高精度光学测量仪

德国马尔MarSurf WM 100 高精度光学测量仪特性

  • 亚纳米分辨率和测量精确度下有最高精度
  • 适合所有光学和反射表面、精细技术表面和电路板、半导体产品和生物组织表面
  • 2D 表面分析和测量评估
  • 地形学 3D 表面分析和测量评估
  • 快速测量 #96 短测量时间
  • 在最多 4 个轴上手动定位工作台和物体
  • 多种镜头选择,可根据测量对象进行完美调整
  • 采用花岗石底座的稳固型设计
  • 基于 MountainsMap© 的专业评估软件
  • 机器建造:所有类型纯金属表面(打磨,轧制等),以及激光结构表面、细陶瓷和塑料表面、铸模表面
  • 医疗:植入体、假肢和仪器的金属、陶瓷和塑料表面
  • 电子:涂层表面分析,电子和半导体组件的测量和分析
  • 光学:各种光学组件(所有材料)的粗糙度分析

德国马尔MarSurf WM 100 高精度光学测量仪附件

  • 传感器系统,包含:
  • WLI 传感头
  • 相机,768 x 582 像素,最高 48 图像/秒
  • 100 µm Z 轴,带压电驱动
  • WLI 软件模块,"Inspector" 软件
  • 花岗石底座和立柱,配有手动定位传感器系统
  • 手动 XY 载物台用于测头定位
  • 20x0.4 DI 镜头(白光干涉仪)
  • CT 120 双轴倾斜工作台
  • 设置工作台角 +/- 30°
  • 标准套件
  • 白光干涉仪:WLI 物镜 2.5x0.075;  5x0.13;  10x0.3;  20x0.4;  50x0.55;  100x0.7
  • 可选:配备减震器来为纳米和亚纳米范围测量优化减震

德国马尔MarSurf WM 100 高精度光学测量仪技术数据

测量原则

使用干涉仪,白光干涉仪
光源 (WLI):高功率 LED,505 nm

测量范围 mm

传感器装置在 Z 方向可手动移动 200 mm
载物台在 X 和 Y 方向可手动移动

干涉仪,白光干涉仪:
测量范围(WLI):最高 100 µm(垂直)

接口

230 V, 50 Hz

 全国各地均有供应:北京、天津、上海、重庆、石家庄、唐山、秦皇岛、太原、沈阳、大连、丹东 、长春、哈尔滨、南京、连云港、杭州、合肥、福州、厦门、南昌、 济南、青岛、邯郸、洛阳、日照、烟台、 郑州、武汉、襄阳、十堰、长沙、广州、深圳 南宁、成都、贵阳、昆明、拉萨、西安、兰州、西宁、银川、乌鲁木齐、宁波、桂林、海南海口、温州、大理、广东、广西、浙江、福建、江苏、安徽、江西、湖北、湖南、云南、贵州、四川、青海、陕西、甘肃、宁夏、河南、河北、山东、山西、辽宁、吉林、黑龙江、内蒙古、新疆、西藏等地。

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