技术参数

(1) 类型： CCI 干涉（相干相关干涉） 
(2) 分辨率： 0.1 A 
(3) 测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 ) 
更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。 

主要特点

•专利的相干相关算法 
•0.01nm分辨率 
•10-20秒测量时间 
•RMS重复性：0.03A 

仪器介绍

Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI（专利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。 

分析方法