金相显微镜 BX61

027-84210039 84210031

咨询热线

首页 >> 蔡司ZEISS光学显微系统 >> 金相显微镜 >> 研究级全电动系统金相显微镜 BX61

研究级全电动系统金相显微镜 BX61

发布时间: 2010-03-28 10:47

产品编号：
42214343416
产品名称：
研究级全电动系统金相显微镜 BX61
规　　格：
BX61
产品备注：
产地：日本

商品信息

产品说明

电动控制调光、调焦和反射透射切换等，实现了操作省力化和效率化的检查环境。使用图像分析软件（analySIS FIVE），可以将一系列的显微镜操作宏功能化，用电脑控制操作。

研究级全电动系统金相显微镜 BX61

观察影像实例


磁头（明视场观察）	DVD（明视场观察）

晶圆（荧光观察）	彩色滤色片（透射观察）

研究级全电动系统金相显微镜 BX61 规格

光学系统			UIS2光学系统（无限远校正）
机身	观察方法		明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
	反射/透射		反射/透射
	照明装置		电动明暗视场反射照明装置（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光）电动反射荧光照明装置（明视场/微分干涉/简易偏振光/荧光）
	照明系统	反射照明	100 W卤素/100 W水银/75 W氙
	照明系统	透射照明	100 W卤素
	对焦单元	电动/手动	电动
		行程	35 mm
		分辨率/微调灵敏度	分辨率0.01 μm
		最大样本高度	25 mm
	物镜转换器	电动型	明视场微分干涉6孔明暗视场微分干涉5孔明暗视场微分干涉中心输出5孔明暗视场微分干涉6孔
	物镜转换器	手动式	-
载物台	行程		右下（左下）手柄：76（X）×52（Y）mm 4×4 英寸右下（左下）手柄：100（X）×105（Y）mm（透射照明范围96×96 mm）
观察筒	广角视场（视场数22）	倒置	双目/三目/倾斜双目观察筒
	广角视场（视场数22）	正像	三目/倾斜双目观察筒
	超宽视场（视场数26.5）	倒置	三目观察筒
	超宽视场（视场数26.5）	正像	三目/倾斜三目观察筒
附件单元			自动调焦
外形尺寸			317.5（W）×602（D）×541（H）mm（标准组合）
重量			25.5 kg（标准组合）

显微镜图标

	将光线均匀照射在样品上，捕捉透射样品或反射回来的光线的观测方法。从样品的光线透射率或反射率的不同中得出所观测图像的对比值，是最基本的观测方法。
	将光线斜射于物体上，只捕捉样品表面的散射光线的观测方法。观测图像的背景变暗，从细微的伤痕或凹凸处反射出来的散射光线能更为清楚地看见。所以被称为暗视场观测。能高灵敏度的检测出用明视场观测无法检测的，在晶圆、镜片等近似于镜面的样品上存在的非常微小的伤痕及凹凸。
	利用光线的偏振光性和干扰性来观测那些存在于样品表面、在通常情况下无法看到的细微凹凸的观测方法。用棱镜将光线分离为横向错开的2束光线来照射样品。从样品上直接反射回来的2束光线的差生成明暗对比，这样就能够立体的观测到样品表面的细微凹凸。
	用水银灯等高亮度光源照射品，观测从样品自身发出的荧光。由于从样品发出的荧光非常微弱，所以仅用于搭载了特殊光学系统（能够高灵敏度的检测出高亮度光源和样品发出的荧光）的显微镜。主要用于晶圆上灰尘的检查，残留抗蚀剂的检查和探伤等。
	把样品的偏振光性和双折射性作为明暗及颜色的不同来观测。所以在观测光学系统上交叉配置了偏振光板。这样就能够得到与样品的偏振光性相应的颜色和对比。可以观测金属组织、矿物、液晶、半导体材料、磁盘等。
	能高灵敏度的检测出，通过内部结构和结晶结构来改变光线震动方向这一类物体的偏振光性。转动偏振光板，结晶会出现色彩鲜明的变化，从而观测它的偏振光性。另外，由于配备了观测光学系统专用的测量板，不仅能观测还能测定结晶构造的偏振光方向和偏振光强度。
	这种观测法的特点是在光源中加入波长较短的深紫外线，从而实现了可视光线无法达到的高分解功能。由于深紫外线无法通过目视观测到，所以使用专门的CCD照相机来拍摄图像，通过显示器观测。用于微型半导体模型、滑行读写磁头的裂痕、缩微平版印刷术等。
	在光源中加入波长较长的近红外线，透射单晶观测其内部的观测法。用于Sip（System in Package即系统封装）、3维封装和CSP（Chip Size Package即芯片尺寸封装）等半导体装置，能够无损检查可视光线无法看到的内部构造。
	使用物镜拍摄透射过透明样品的光线。此时，样品的各部分的不同的厚度、密度、颜色等形成光的吸收光谱，成为观测的对比值。对比值较高的图像明暗清晰，对比值较低的图像明暗轻浅。
	在制造设备等上面搭载用来观测、分析的光学系统装置为目的开发出来的显微镜单元。小型、轻巧的设计，使加载更为简便。
	为了不让使用显微镜观测时产生的静电影响到样品，显微镜的主机、集光管、物镜转换器等都使用导电性材料和涂料等处理过。静电的快速消除，保护了容易受静电影响的磁头之类的样品。
	通常体视显微镜的物镜只有1个，但搭载物镜转换器的体视显微镜上，却可以同时安装并切换使用2个不同的物镜。如此一来，与通常的产品相比，可以使用更大范围的变焦倍率来进行观测。
	由于在显微镜观测上采用自动调焦，所以能在大幅度提高观测和检查速度的同时减轻操作员的负担。不仅如此，还能有效杜绝高端测量中因操作员熟练程度不同而造成的测量值散乱，从而能够进行高精度测量。
	可以测量大尺寸样本或一次性测量多个普通样本的测量显微镜的样本载物台。测量范围为250×150 mm，能对应快速测量。
	适用于测量半导体设备和电子零部件的测量显微镜的样本载物台。可以根据样本尺寸选择50×50 mm、100×50 mm、100×100 mm、150×100 mm等测量范围的载物台。
	是一种将显微镜的对焦、倍率切换、观测方法切换、照明亮光的调整、电动载物台控制、图像获取等功能全部电动化，并由PC控制的系统。既减轻了操作员的负担，又提高了检查效率。
	装有可以全面观测300 mm晶圆位移的大型载物台的显微镜。如果加配透射照明还能够适用于17英寸大的FPD检查。
	在显微镜的前面和侧面，可以安装数码照相机和电视摄像机的端口。如果配合三目镜筒则可以同时安装三台图像记录设备。
	因为使用了波长比可视光短的405 nm紫色激光进行观测，所以能够得到比光学显微镜更高的分辨率。
	因为使用了波长比可视光短的408 nm紫色激光进行观测，所以能够得到比光学显微镜更高的分辨率。
	机身为小型设计，即使在狭窄的空间也能够轻松安装使用。另外，由于重量较轻，便于携带搬运，从而满足了在复杂作业场地快速观测的用户需求。
	可以进行“线粗糙度测量”（对样品表面进行直线测量）和“面粗糙度测量”（测量样品表面整体）。进行了与接触式表面粗糙度测量仪同样的校正，配置了表面特性粗糙度参数和过滤器，可以得到与传统的接触式表面粗糙度测量仪有互换性的数据。此外，灵活运用非接触式的优点，可以测量那些使用接触式测量仪难以应付的柔软样品和有粘性的样品。