FS-70半导体检测用显微镜
发布时间: 2010-03-26 14:23
产品编号：
82213452616
产品名称：
FS-70半导体检测用显微镜
规 格：
FS-70
产品备注：
日本三丰
 产 品 说 明
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380
FS-70
378 系列 — 半导体检测用显微镜
短基座型号 FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS
货号 378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4
对焦 50mm 行程，同心焦距粗调 (3.8mm/rev) 和微调 (0.1mm/rev) 手轮 (左、右)
图像 正像
瞳距 Siedentopf 型、调节范围：51 - 76mm
视场数 24
俯角 — 0° 至 20° — 0° 至 20° — 0° 至 20° — 0° 至 20°
透过率 50/50 100/0 或
0/100
50/50 100/0 或
0/100
100/0 或 0/100 100/0 或 0/100
保持性滤光片 — — 内置激光射线滤光片 内置激光射线滤光片
管镜头 1X 1X - 2X zoom 1X 1X
适用激光 — — 1064/532/355nm 532/355nm
相机端口 C-mount (使用适配器 B 选件) 使用带有电视端口的
激光器
C-mount 插座
(带有绿色滤光片转换开关)
照明系统、选件 亮视场反射照明 (科勒照明、带孔径光阑)
12V 100W 光纤、无极亮度调节、光导长度：1.5m、功耗 150W
物镜、选件
(用于观察)
M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
物镜、选件
(用于激光切割)
— M/LCD Plan NIR,
M/LCD Plan NUV
M Plan UV
载重 * 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg
重量 (主机) 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg
* 光管的载重不包括物镜镜头和目镜的重量
性能参数
型号 FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH
货号 378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3
特点
• 此光学系统最初是为畅销的 FS60 型 (后升
级为 FS70 型) 而开发的。它作为测量检测
半导体器件的显微镜是很理想的。
• FS70L 支 持 3 种 YAG 激 光 波 长 (1064nm,
532nm, 355nm)， FS70L4 支持 2 种波长(532nm,
266nm)，可在半导体和液晶基板中使用激
光切割和薄膜技术。这就扩大了激光的
使用范围。然而，使用三丰量具对显微
镜的激光系统的性能和安全性，三丰公
司不负责任。我们推荐在选购激光发射
器时应仔细检查。
• FS70Z 的标准功能有：亮视场，微分干涉
对比 (DIC) 和偏振观测。FS70L 和 FS70L4 不
支持 DIC。
• 使用内置式转换器使得长工作距离物镜
的操作很简单。
• 极易操作的设计：FS70 采用正像光学系统
(视场中的像与样品方向相同) 并用橡胶把
手加大微调手轮。
技术参数
对焦
• 方法 : 有同心粗调和微调手轮 (左和右)
• 范围 : 50mm 测量范围
微调 0.1mm/rev 同心粗调 3.8mm/rev
三目镜筒图像 : 正像
瞳距 : Siedentopf 型
调节范围 : 51 - 76mm
视场数 : 24
俯角 : 0º - 20º (仅用于 -TH, -THS 型号)
照明系统 : 亮视场反射照明 (科勒照明、带孔径光阑)
光源 : 12V100W 光纤、无极亮度调节),
光导长度 1.5m、功耗 150W
物镜 (选件): M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
详见 Microscope Units (E4191) 产品样本
FS70Z FS70L FS70L4
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