370
Hyper MF / MF-U
176 系列 — 高精度测量显微镜
Hyper MF-U
(带有可选光管镜头，
旋转盘和物镜)
特点
• 世界级高精度XY测量精度为(0.9+3L/1000)µm。
• 可选择LAF (激光自动对焦) 功能。
• 良好的操作性能和重复精度。
• 三轴电动控制。
• 标配电动自动聚焦装置。
技术参数：Hyper MF-U
观察图像 : 正像
光管 : Siedentoph 型 (可调瞳距：51 -
76mm), 1X 光管镜头、双目目镜
(俯角：25º)、十字投影法、
带有 TV 插板、光通比
(目镜 /TV 插板：50/50)
目镜 : 10X (视场直径：24mm),
可选 : 15X, 20X
转盘 (选件): 电动旋转盘
物镜 (选件): 从 1X - 100X 的 M/BD Plan Apo 物镜
(详见 384 页)
轮廓照明
• 光源 : 卤素灯泡 (12V, 100W)
• 光学系统 : 带有可调整光圈的远心照明系统
• 功能 : 光强度可调 ,
100 级亮度调整
表面照明
• 光源 : 卤素灯泡 (12V, 50W)
• 光学系统 : 带有可调整光圈的科勒照明系统
• 功能 : 光强度可调、100 级亮度调整
数据输出 通过 RS-232C 接口
电源 : 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
尺寸 : 880x913x770mm (主机)
160x476x381 (电源装置)
重量 255kg (主机), 14kg (电源装置)
技术参数：Hyper MF
观察图像 : 正像
光管 : 单目目镜或双目目镜
(可选俯角：25º)、十字投影法、
带有 TV 插板、光通比
(目镜 /TV 插板：50/50)
目镜 (选件): 10X, 15X, 20X
物镜 : 3X (375-037), W.D.: 72.5mm
可选: 1X, 5X 10X, 20X, 50X, 100X
轮廓照明
• 光源 : 卤素灯泡(12V, 100W)
(光纤冷光照明)
• 光学系统 : 带有可调整光圈的远心照明系统
• 功能 : 光强度可调、100 级亮度调整
表面照明
• 光源 : 卤素灯泡(12V, 50W)
• 光学系统 : 带有可调整光圈的科勒照明系统
• 功能 : 光强度可调、100 级亮度调整
数据输出 : 通过 RS-232C 接口
电源 : 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
尺寸 : 880x913x730mm (主机)
160x476x381 (电源装置)
重量 250kg (主机), 14kg (电源装置)
详见 Hyper MF/MF-U (E4267) 产品样本
性能参数
型号 Hyper MF-B2515B Hyper MF-UB2515B Hyper MF-UD2515B Hyper MF-UE2515B Hyper MF-UF2515B
货号 (mm) 176-420* 176-421* 176-422* 176-423* 176-424*
观察类型 BF BF BF 或 BF/BD BF BF 或 BF/BD
数显计数器 — — — — —
数码自动对焦功能 — — — 有 有
XY 工作台移动范围 250 x 150mm 250 x 150mm 250 x 150mm 250 x 150mm 250 x 150mm
测量装置 线性编码器 线性编码器 线性编码器 线性编码器 线性编码器
分辨率 0.01µm 0.01µm 0.01µm 0.01µm 0.01µm
测量精度 (20ºC 时) (0.9+3L/1000)µm, L 为 XY 轴无负载测量长度 (mm)
驱动系统 (X, Y, Z 轴) 带操纵杆的电动驱动控制
XY 工作台台面尺寸 460 x 350mm 460 x 350mm 460 x 350mm 460 x 350mm 460 x 350mm
载物玻璃有效尺寸 300 x 200mm 300 x 200mm 300 x 200mm 300 x 200mm 300 x 200mm
旋转功能 ±3º ±3º ±3º ±3º ±3º
最大工件重量 30kg 30kg 30kg 30kg 30kg
最大工件高度 150mm 150mm 150mm 150mm 150mm
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：176-420A):
A 适于 UL/CSA, D 适于 CEE, E 适于 BS, DC 适于中国、K 适于 EK，无后缀适于 JIS/100V371
尺寸
单位：mm
大型高精度XY 工作台
多年以来，在制造精密测量显微镜方面，
三丰积累了丰富的经验，利用这些经验，
经大规模、高稳定性的设计，三丰推出此
型工作台，最大负载为 30kgf ，备有各种固
定件，包括芯片固定器和旋转中心支架。
LAF 镜管
可选用 LAF (激光自动聚焦) 目镜。LAF 系统
在微小步进 minute steps 测量时具有更高的
重复精度，使高难度测量更加轻松。
* 适用于 MF-U
AF 光路图
LAF 采用的低功率激光
符合 JIS C6802/1997 激光
产品安全性的二级(可见
光) 安全标准。
三轴马达驱动操纵杆
X, Y, Z 三轴均由一根操纵杆驱动、控制，作
为操作面的核心。可进行速度控制：从工
作台的高速驱动，到工件的超低速精确定
位。
250mm
150mm
150mm
高精度数字光栅尺
本系列显微镜的三轴均配备高精度数字玻
璃光栅尺。三丰公司生产玻璃刻度的实验
室设于地下，终年恒温、恒湿。 XY(工作台)
以及 Z 轴 (镜管) 的移动以数字形式显示。
QM-Data200
2D 数据处理器
(见374 页)
选件
Hyper MF 型号详见 367 页
Hyper MF-U 型号详见 369 页
Vision Unit
基于PC 的视像测量系统
(见376 页)
372
性能参数
货号 375-056
测量范围 1mm
分度值 0.01mm
精度 (20ºC 时) (1+L)µm, L 为测量长度(mm)
尺寸 (WxD) 76 x 26mm
重量 16g
读数尺
375-055:
同心圆
375-065:
品字光阑
测量显微镜附件
Focus Pilot FP-05
特点
• 在 MF 系列测量显微镜的 CCD 相机支架上
安装此系统，并将聚焦图投影到工件表
面上，即可精确快速的检测到焦点。
• 有两种聚焦图可供选择。选择和工件表
面纹理一致的图形。
• 聚焦图的亮度可调。
性能参数
货号 375-055* 375-065*
适用的显微镜 MF 型 MF-U 型
倍率 0.5X, 精度：0.1%**
相机接口 C-mount (标配)
适用 CCD 相机 2/3-inch 以下
重量 1.8kg 1.8kg
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：375-055A):
A 适于 UL/CSA, D 适于 CEE, E 适于 BS, DC 适于中国、K 适于 EK，
无后缀适于 JIS/100V
** 在视野区域中心 2/3 的面积之内
聚焦图
• 使用 CCD 相机 (带有C-mount 适配器)，可
在监视器上进行大视场观察。
电动调焦装置
性能参数
货号 378-016* 378-210*
观察类型 BF BF/DF
适用的显微镜 MF-UB 型
物镜插板数量 5-mount 4-mount
视场调整范围 ±0.5mm
电源 100 - 240V AC, 50/60Hz
尺寸 (W x D x H) 控制盒：108 x 72 x 193mm
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：378-016A):
A 适于 UL/CSA, D 适于 CEE, E 适于 BS, DC 适于中国、K 适于 EK，
无后缀适于JIS/100V
性能参数
货号 378-061*
适用的显微镜 MF-A 型 , MF-UA 型
分辨率 0.4µm
驱动速度 3.2mm/s
电源 100 - 240V AC, 50/60Hz
尺寸 (WxDxH) 控制盒：108 x 87 x 201mm
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：378-061A):
A 适于 UL/CSA, D 适于 CEE, E 适于 BS, DC 适于中国、K 适于 EK，
无后缀适于 JIS/100V
动力旋转盘373
双光纤照明装置 环形光纤照明装置
性能参数
货号 176-366*
适用的显微镜 MF 型
光缆长度 1000mm
光源 卤素灯泡 (12V, 100W)
(517181：卤素灯泡)
尺寸 (W x D x H) 照明装置：235 x 76 x 120mm
可选用彩色滤光片 (GIF: 12AAG806, LB80: 12AAG807)
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：176-366A):
A 适于UL/CSA, D 适于 CEE, E 适于 BS, DC 适于中国、K 适于 EK，
无后缀适于 JIS/100V
LED 环形照明装置 斜面表面照明装置
性能参数
货号 176-367-2*
适用的显微镜 带有 1X/3X/5X 物镜的 MF 型
光源 白色 LED (12V, 100W)
LED 电缆长度 1500mm
可选用彩色滤光片 (ND2: 12AAA643, ND8: 12AAA644, GIF: 12AAA645,
LB80: 12AAA646)
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：176-367-1A):
A 适于 UL/CSA, D 适于 CEE, E 适于 BS, DC 适于中国、K 适于 EK，
无后缀适于 JIS/100V
性能参数
货号 176-351-6*
适用的显微镜 带有 1X/3X/5X 物镜的 MF 型
光源 由显微镜提供 (表面照明)
可选用彩色滤光片 (ND2: 12AAA643, ND8: 12AAA644, GIF: 12AAA645,
LB80: 12AAA646)
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：176-351-6A):
A 适于UL/CSA, D 适于 CEE, E 适于 BS, DC 适于中国、K 适于 EK，
无后缀适于 JIS/100V
D：双光纤照明装置
C: LED 环形照明装置
B：环形光纤照明
A：垂直表面照明 (卤素照明)
性能参数
货号 176-343*
适用的显微镜 MF, MF-U 型
光缆长度 1800mm
光源 卤素灯泡 (12V, 100W)
(517181：卤素灯泡)
尺寸 (W x D x H) 照明装置：235 x 76 x 120mm
可选用彩色滤光片 (GIF: 12AAG806, LB80: 12AAG807)
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀 (如：176-343A):
A 适于 UL/CSA, D 适于 CEE, E 适于 BS, DC 适于中国、K 适于 EK，
无后缀适于 JIS/100V
PCB
IC 模块 深红色
黑色树脂注塑件
HDD 悬架 PCB
电子器件
柔性 PCB PCB
IC 电路
PCB HDD 悬架
|
|
产 品 说 明
