M-NanoCoord
细微形状测量系统

特点
• 能精确测量微小表面的形状(如MEMS 产
品、 电气设备、精密模、阳模、球面透镜
等)。
• M-NanoCoord 系列的每一型号均包含一台
最新开发的超高精度主机。
• M-NanoCoord 系列的每一型号均包含一个
作为标准配件的视像测头。
• 除了标准的视像测头之外，还可安装第
二测头。
两种测头可供选择
极低测力扫描测头，特别适用于非损伤地
测量软质工件；
极小测头的接触式测针UMAP103，特别适
用于测量微孔。

技术参数
测量范围
X 轴: 200mm
Y 轴: 200mm
Z 轴: 100mm
精度: (0.2+L/1000)μm
L 为测量长度(mm)
结构
X 和 Y 轴: XY 表面导向
Z 轴: 滑动架和固定心轴
导向方式: 液压轴承
驱动方式: 摩擦驱动
长度标准杆: 激光全息测微计
照明系统: 表面照明
程控环形照明